Cet article traite de la naissance du concept de microsystème à partir de la microélectronique, et des évolutions depuis les débuts jusqu’aux applications récentes autour des systèmes de capteurs intelligents et connectés. Après quelques définitions, les méthodes de conception d’un microsystème sont données, en s’appuyant sur l’exemple typique de la micro-poutre. Les principes de fonctionnement e...
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à la micro-ingénierie et aux microtechnologies car il est à prévoir que dans certains cas les modes...
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en micro électronique et microtechnologie et est relativement peu coûteux ; la formation d'un oxyde... de synthèse dites « traditionnelles » ; les approches de synthèse inspirées des microtechnologies... . Dans les approches appelées « inspirées des microtechnologies » , les molécules, ou particules de réducteurs et d... des microtechnologies Procédés sol-gel/aérogel Sur le procédé sol-gel Procédé sol-gel de polymérisation, [AM 3...
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