procédés plasma... Les procédés de dépôt sous vide par procédés plasma ont connu un essor important au cours... . Les techniques de dépôt sous vide par procédés [...]
10 juin 2014
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10 juin 2014
température, puis de procédés plasma non thermique. L’article se termine sur les différentes possibilités d... -scale CCVD synthesis of double-walled carbon nanotubes. . Procédés plasma non thermique [...]
10 mars 2005
Cet article a pour but de montrer l’intérêt d’une assistance plasma dans un procédé ALD... ainsi que les réacteurs associés. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un [...]
10 oct. 2016
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