- Article de bases documentaires
|- 10 déc. 2005
|- Réf : M1654
Cet article détaille le procédé de pulvérisation cathodique magnétron, procédé qui associe... sont établies. Les mécanismes qui prédominent le procédé de pulvérisation cathodique magnétron en condition... années dans la compréhension des mécanismes qui la gouvernent : la pulvérisation cathodique magnétron... . La première partie sera consacrée à l’étude détaillée du procédé de pulvérisation cathodique magnétron. Après...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
- Article de bases documentaires
|- 10 juin 2014
|- Réf : M1663
Les procédés de dépôt sous vide par procédés plasma ont connu un essor important au cours des décennies passées : au niveau technologique avec l'introduction de plusieurs nouvelles sources et au niveau applicatif avec un chiffre d'affaires qui a bondi ces dernières décennies dans le domaine des applications mécaniques. Dans cet article, sont traités les différentes configurations plasma, les méth...
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- Article de bases documentaires
|- 10 avr. 2006
|- Réf : NM610
Cet article traite du dépôt de films nanométriques en pulvérisation cathodique radiofréquence... négative de la cathode, pulvériseront l'élément cible. Nous montrerons par la suite qu'en pulvérisation RF... , ce qui n'est pas vrai dans le cas de la pulvérisation cathodique, l'énergie des espèces pulvérisées étant largement... sont ensuite passés en revue : les mécanismes de pulvérisation, la puissance, la pression et la distance cible...
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