2. Instruments, spectres et performances
Pour mettre en œuvre la spectroscopie Auger induite par des électrons en vue de l’analyse des surfaces solides, il suffit, en principe, de disposer d’une enceinte ultravide équipée d’un canon à électrons et d’un analyseur (figure 7 ). Couvrant généralement l’intervalle énergétique de 50 eV à 2,5 keV, le spectre des électrons Auger ainsi obtenu garantit une profondeur d’analyse inférieure à 10 nm et il s’inscrit sur le fond continu des électrons primaires rétrodiffusés et en amont du spectre des électrons secondaires (figure 8 ). Les électrons rétrodiffusés dont l’énergie est située en amont de chaque raie Auger peut renforcer l’intensité de la raie considérée par l’intermédiaire...
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Instruments, spectres et performances
Analyse quantitative : relation entre l’intensité et la concentration
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