Imagerie et acquisition à trois dimensions
Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

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Imagerie et acquisition à trois dimensions
Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

Auteur(s) : Evelyne DARQUE-CERETTI, Marc AUCOUTURIER, Patrice LEHUÉDÉ

Date de publication : 10 mars 2015 | Read in english

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7. Imagerie et acquisition à trois dimensions

7.1 Développements techniques

L'un des développements les plus spectaculaires de l'analyse ionique en mode microsonde est la possibilité d'acquérir en continu toutes les informations relatives à l'analyse effectuée :

  • en détection séquentielle (spectromètre à déflecteur magnétique), les valeurs des intensités ioniques des éléments sélectionnés en fonction du temps, donc de la profondeur érodée et de la position de la sonde à la surface ;

  • en détection par temps de vol, les spectres de masse complets, également couplés à la profondeur érodée et à la position de la sonde sur la surface.

Le stockage informatique de ces données permet de reconstituer après la mesure la...

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