1. Principe de l’émission ionique secondaire
Le processus des cascades de collisions conduisant à la pulvérisation ionique est décrit dans le modèle de Sigmund , développé pour les solides atomiques, élémentaires et isotropes. Une partie de l’énergie déposée dans le solide est réfléchie vers la surface par l’intermédiaire des atomes de recul (atomes de la cible mis en mouvement soit par collision directe avec les particules incidentes, soit par l’intermédiaire de collisions en cascade). Si l’énergie de ces derniers au voisinage de la surface est supérieure à l’énergie de liaison des atomes en surface du solide, ils peuvent provoquer...
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Principe de l’émission ionique secondaire
Principes de mesure et appareillages. Paramètres expérimentaux
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