2. Principes de mesure et appareillages. Paramètres expérimentaux
L’analyse par émission secondaire des matériaux solides est basée sur le bombardement des échantillons par un faisceau d’ions primaires qui est focalisé en une sonde sur la surface de cet échantillon. Le faisceau primaire subit une double déflexion périodique, qui assure le balayage de la surface par la sonde suivant deux directions perpendiculaires ( x-y). Le but principal de ce balayage est d’obtenir, en régime dynamique, une érosion homogène de la surface, qui « recule » donc parallèlement à elle-même au cours de la mesure. Le balayage primaire définit l’ aire balayée ou aire irradiée (par exemple 100 x 100 µm 2 à 500 x 500 µm2), qui limite donc, en particulier, avec la profondeur perturbée précédemment décrite, le volume perturbé par le faisceau primaire (soit 10 2 à 5 · 103 µm3).
La partie ionisée...
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Principes de mesure et appareillages. Paramètres expérimentaux
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