4. Analyse PIXE par microsonde
Sur le plan technique, une des principales avancées des vingt dernières années fut l’apparition des microfaisceaux de particules. En effet se sont développées des méthodes de focalisation des faisceaux d’ions de quelques MeV qui permettent la mise en œuvre de la méthode PIXE à l’échelle microscopique. Il est alors possible, en balayant l’échantillon, d’obtenir une analyse point par point et donc une cartographie chimique élémentaire avec une résolution spatiale de l’ordre de 300 nm pour les sondes les plus performantes (cf. figure 12 ).
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Analyse PIXE par microsonde
Effets secondaires induits
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