4. Développements en microscopie électronique à balayage
Depuis les années 2000, des progrès constants ont été accomplis dans la conception et la fabrication des microscopes électroniques à balayage :
-
pour améliorer la résolution spatiale :
en réduisant les aberrations des lentilles électroniques,
en améliorant le rendement des détecteurs,
en améliorant la brillance des canons à électrons ;
pour adapter son usage à l’industrie des composants électroniques et à une multitudes d’accessoires qui viennent se connecter au MEB : chambres « objet » appropriées équipées de beaucoup de ports d’entrée ;
pour l’optimisation du fonctionnement à basse et très basse tension ;
pour faciliter le pilotage par l’informatisation ;
pour intégrer, dès la conception la numérisation des images...
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Développements en microscopie électronique à balayage
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