6. Conclusion
La microscopie électronique à balayage est un outil puissant d’observation des surfaces. Elle permet couramment de former, à partir des électrons secondaires, des images de la surface, simultanément avec une grande profondeur de champ, et un excellent pouvoir séparateur à des grandissements de l’ordre de 10 à 100 000, et plus.
Les images (SE, BSE, in-lens ) de MEB peuvent être facilement associées à des microanalyses et à des cartographies élémentaires, obtenues par spectrométrie des rayons X (EDS), par exemple des cartographies d’orientation (EBSD). Elles sont toutes maintenant numérisées, et se prêtent particulièrement bien au traitement des images.
Il existe une large gamme d’appareillages classés sommairement en quatre familles :
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