2. Résolution spatiale et profondeur de champ
2.1 Pouvoir séparateur
L’image principale est associée aux électrons secondaires .
Le pouvoir séparateur p , qui caractérise la résolution spatiale latérale d , est la plus petite distance sur l’objet dont les points conjugués sur l’image sont distincts. Deux points de l’image ne sont réellement distincts que si les zones d’émergence des électrons secondaires recueillis associées à chaque point le sont aussi effectivement, et si le contraste relatif est suffisant.
Pour optimiser le pouvoir séparateur, il faut donc le plus...
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Résolution spatiale et profondeur de champ
Préparation d’échantillon
Sources bibliographiques
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