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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Émission X induite par particules chargées (PIXE) : applications

Référence P2558 | Date de publication : 10 mars 2004 | Philippe MORETTO, Lucile BECK

4. Analyse PIXE par microsonde

Sur le plan technique, une des principales avancées des vingt dernières années fut l’apparition des microfaisceaux de particules. En effet se sont développées des méthodes de focalisation des faisceaux d’ions de quelques MeV qui permettent la mise en œuvre de la méthode PIXE à l’échelle microscopique. Il est alors possible, en balayant l’échantillon, d’obtenir une analyse point par point et donc une cartographie chimique élémentaire avec une résolution spatiale de l’ordre de 300 nm pour les sondes les plus performantes (cf. figure 12).

Ces microsondes permettent non seulement l’utilisation des techniques de fluorescence mais également des techniques plus spécifiquement nucléaires : analyse par réactions nucléaires, rétrodiffusion Rutherford (Rutherford Backscattering Spectrometry) ou encore microscopie ionique en transmission (Scanning Transmission Ion Microscopy). Toutes ces techniques...

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