Exemple de pompage en vide poussé. Influence de la désorption
Gaz à très basse pression - Calcul des installations sous vide

7.1 Données

L’enceinte à pomper est une cavité résonnante haute fréquence produisant un champ électrique accélérant des particules. Les dimensions et la forme de l’enceinte sont imposées par la nécessité d’obtenir une certaine forme de champ électrique accélérateur à une fréquence donnée : la cavité a la forme d’un cylindre de 3 m de longueur pour 1 m de diamètre. Pour obtenir un bon coefficient de surtension, les parois sont en cuivre. Pour tenir le champ accélérateur, la présence d’hydrocarbure est interdite. Pour ne pas avoir de décharge électrique, la pression doit être inférieure à 5 × 10^{– 4} Pa. Pour éviter un élargissement du faisceau accéléré par choc de la particule contre une molécule du gaz résiduel, la pression doit être inférieure à 5 × 10^{– 4} Pa.

Les remises à la pression atmosphérique sont peu fréquentes mais, dans ce cas, on exige que la pression baisse suffisamment rapidement (environ 1 h) pour pouvoir contrôler l’étanchéité à une pression de quelque 10^{– 3} Pa (obtention d’un régime moléculaire), et pour pouvoir démarrer à faible puissance les équipements haute fréquence dans les 2 à 3 h qui suivent. La montée à pleine puissance demandant 5 à 6 h, on peut, si tout va bien, commencer à envoyer le faisceau de particules (quitte à en perdre un peu) et terminer tous les réglages avant l’utilisation effective de la machine 24 h sur 24 pendant plusieurs semaines. La durée de remise en route totale après une brève remise à l’atmosphère (environ 1 h) doit être de l’ordre de 10 à 12 h.

7.2 Détermination de l’avant-projet

• On calcule du mieux possible le flux à pomper q_G 1, 10, 100 h après le début du pompage 7.3.

• Connaissant ce flux et la pression à atteindre à 1 h et 100 h,...