Exemple de fonctionnement d’un groupe de pompage
Gaz à très basse pression - Calcul des installations sous vide

Le groupe de pompage le plus souvent rencontré se compose d’une pompe à palettes et d’une pompe à diffusion (figure 1). C’est un groupe capable d’assurer une pression de 10^{– 3} à 10^{– 5} Pa avec un débit-volume de 0,1 à 5 m³ / s.

Le fonctionnement d’un tel système est le suivant.

Initialement, l’enceinte A est à la pression atmosphérique, tous les appareils sont à l’arrêt et les robinets fermés.

À la mise en service, les robinets G₂ et G₃ sont ouverts et les pompes C et H sont mises sous tension. Lorsque la pompe C a atteint sa température de régime donnant un bon fonctionnement des éjecteurs (de l’ordre de 300 ^oC), et pour autant que les pressions indiquées par les manomètres (par exemple, à thermoconductivité) F₁ et F₂ soient inférieures à la pression d’amorçage p ₁ de cette pompe C, le robinet G₂ est fermé et le robinet B est ouvert, et l’évacuation se poursuit suivant la voie A, B, C, G₃ , H.

La pression dans l’enceinte de travail A est mesurée par le manomètre E (par exemple, à ionisation à cathode chaude ou életromagnétique).

Si l’on désire remettre l’enceinte à la pression atmosphérique sans attendre le refroidissement de la pompe C qu’il faudrait mettre hors tension, il faut fermer les robinets B et G₃ arrêter la pompe H et ouvrir les robinets G₁ et G₂ .

Pour un nouveau cycle de pompage, l’enceinte A est mise sous basse pression en fermant G₁ et en mettant H sous tension. Lorsque la pression indiquée par F₁ est inférieure à p ₁ , on ouvre B et G₃ et on ferme G₂ . L’évacuation se poursuit à nouveau selon la voie A, B, C, G₃ , H.