les fonctions d’interconnexion sous forme de réseau filaire, plaqué ou déposé, en couches minces ou épaisses... ’hui, lorsque cela est nécessaire, d’envisager l’intégration conjointe de composants passifs en couches minces et d’un réseau... multicouche dense également en couches minces. De plus en plus, passifs et réseau de conducteurs sont séparés... Couches minces traditionnelles...
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’envisager l’intégration conjointe de composants passifs en couches minces et d’un réseau multicouche dense, également... en couches minces. De plus en plus, passifs et réseau de conducteurs sont séparés physiquement... [2] . Ils consistent à déposer un réseau MCM-D de peu de couches (2 à 3) sur un support de type MCM... Les couches minces sont un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, habituellement obtenu...
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lorsque les paramètres de mailles des réseaux cristallins de la couche et du substrat sont proches... . Néanmoins, même si l’on se place dans un cas de figure d’homoépitaxie, le réseau cristallin de la couche... couches minces cristallines... Depuis la fin des années 1970, les couches minces ont suscité un intérêt croissant...
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