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Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
précurseurs organométalliques... L’évaluation thermodynamique de la phase gazeuse des précurseurs pour les procédés de dépôts... . Cet article offre à l’ingénieur qui utilise le procédé ALD avec des précurseurs organométalliques une méthode... des précurseurs organométalliques ont un intérêt pour plusieurs raisons. D’une part, elles permettent l’évaluation...
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est soumise à un flux d’espèces réactives, appelées précurseurs, dans le but de générer une seule monocouche... de ligands chimisorbée. Une grande variété de produits chimiques précurseurs a été développée (voir VILLE... de précurseurs peuvent être utilisés : les précurseurs les plus courants sont des molécules réactives... ’ALD thermique, une vapeur contenant les molécules des précurseurs sera générée, provenant d...
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