L’évaluation thermodynamique de la phase gazeuse des précurseurs pour les procédés de dépôts de couches atomiques (ALD) permet de définir les conditions opératoires optimales, de prévoir toutes les réactions possibles et d’estimer la consommation d'énergie associée à d’éventuelles transformations. Cet article offre à l’ingénieur qui utilise le procédé ALD avec des précurseurs organométalliques une méthode de construction des propriétés de la phase gazeuse à partir des données structurelles des molécules. Les techniques expérimentales qui permettent d’obtenir directement les informations sur la phase gazeuse et l’illustration d’exploitation de ces données thermodynamiques sont données.
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