3. Analyse de surface en SIMS statique
L'analyse sous très faible courant d'ions primaires, pour laquelle il est possible de détecter le spectre complet des toutes premières couches atomiques ou moléculaires de surface (les deux premières couches atomiques ou la première couche moléculaire), fait du SIMS, en particulier le ToF-SIMS, une méthode d'analyse de surface au sens strict.
Ce type d'analyse s'est beaucoup développé depuis le début des années 2000, compte tenu de l'importance des travaux concernant les composés organiques et biologiques et de ceux consacrés aux contaminations de surface (verres et semi-conducteurs). Des améliorations techniques significatives ont accompagné ce développement et les instruments sont couramment équipés des deux sources d'ions primaires suivantes.
Canon d'analyse : on utilise de plus en plus des ions lourds ou des...
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Analyse de surface en SIMS statique
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