Microanalyse X par sonde électronique - Applications et développements

En microanalyse X sur échantillon massif, la résolution spatiale est typiquement de l'ordre de grandeur du micromètre, latéralement comme en profondeur (figure 21a). Si l'on veut analyser des volumes beaucoup plus faibles, il faut se tourner vers la microscopie électronique en transmission et les échantillons minces. La résolution spatiale est alors pilotée par le diamètre de la sonde d₀ , légèrement augmentée par les effets (modérés) de la diffusion électronique (figure 21b) que l'on peut estimer par la relation suivante :

avec b et t (épaisseur de la lame mince) en nm, ρ en g/cm³ et E₀...