9. Perspectives : l'analyse sub-micronique
La principale limite de la microanalyse sur cible massive réside dans sa résolution spatiale. Alors qu'en SIMS elle peut atteindre 25 nm (NanoSIMS) et en Auger seulement quelques nanomètres, elle reste typiquement de l'ordre du micromètre.
Deux facteurs limitent la résolution spatiale : le diamètre de la sonde d0 et surtout la diffusion électronique (cf. 
[P 885v2] , § 1.4).
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