Microscopie acoustique

1 - L’imagerie acoustique

• 1.1 - Champ lointain et champ proche
• 1.2 - Avantages des ultrasons

2 - Principe du microscope acoustique à balayage mécanique

3 - Lentille de focalisation

4 - Images et signatures V (z)

• 4.1 - Modes de volume
• 4.2 - Modes de surface
  Figure 3 - Interférences entre les ondes acoustiques réfléchies en incidence normale (trajet I) et les ondes de surface couplées aux modes de volume se propageant sous l’incidence critique θR (trajet II) Figure 4 - Différentes allures de la caractéristique V (z) en fonction de l’orientation de la surface d’une pièce d’aluminium

5 - Les applications

• 5.1 - La microélectronique
  Figure 5 - Zone active d’un microcircuit (100 x 70 µm2) Figure 6 - Interface d’un composant de puissance à base de silicium sur molybdène (130 MHz, 1 000 x 700 µm2) Figure 7 - Images acoustiques prises en profondeur d’un mur de scellement entre matériaux à deux focalisations mettant en évidence une fracture sous le mur (15 MHz, 1 000 x 700 µm2)
• 5.2 - La métallurgie
  Figure 8 - Image acoustique à 600 MHz de la surface d’un acier montrant une structure en grains (1 000 x 700 µm2) Figure 9 - Signatures acoustiques sur deux grains différents d’un acier Figure 10 - Évolution de la signature acoustique d’un acier soumis à irradiation Figure 11 - Signature acoustique V (f) d’une couche de nitrure de titane sur acier montrant la dispersion des vitesses en fonction de la fréquence
• 5.3 - Les polymères
• 5.4 - Les matériaux poreux : un domaine en pleine extension
  Figure 12 - Image acoustique d’un échantillon de ciment à 600 MHz (1 000 x 700 µm2)
• 5.5 - Le biomédical et l’agroalimentaire

6 - Perspectives d’avenir