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Article de référence | Réf : E3210 v3
ARTICLE INTERACTIF
Auteur(s) : Alexandre REINHARDT, Thierry LAROCHE
Date de publication : 10 mai 2021
Relu et validé le 01 juin 2021
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résonateur à ondes élastiques de volume ; bulk acoustic wave resonator (BAW)
Résonateur électromécanique reposant sur la résonance d’un mode d’épaisseur d’une plaque piézoélectrique.
résonateur à ondes élastiques de volume suspendu ; film bulk acoustic wave resonator (FBAR)
Résonateur à ondes élastiques de volume isolé de son substrat de fabrication en le positionnant sur une membrane suspendue au-dessus d’une cavité d’air ou de vide.
résonateur à ondes élastiques de volume solidaire du substrat ; solidly mounted resonator (SMR)
Résonateur à ondes élastiques de volume isolé de son substrat de fabrication par insertion d’un réflecteur acoustique entre le résonateur et le substrat.
équation de Christoffel
Équation permettant le calcul des vitesses de phase et des polarisations d’ondes élastiques planes et monochromatiques se propageant dans une direction donnée d'un milieu piézoélectrique, à partir de la donnée des propriétés élastiques, piézoélectriques et diélectriques du milieu.
schéma équivalent de Butterworth – Van Dyke (BVD)
Schéma équivalent composé d’une capacité statique en parallèle avec un circuit résonant R m−L m−C m, utilisé pour décrire la réponse électrique de résonateurs électromécaniques.
modèle de Mason
Modèle de propagation d’une onde élastique dans l’épaisseur d’une couche, sous une hypothèse monodimensionnelle. Ce modèle repose sur un schéma électrique bâti sur une analogie entre grandeurs mécaniques et électriques, et utilise une ligne de transmission « acoustique » ainsi qu’un transformateur pour représenter l’effet piézoélectrique.
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ÉLECTRONIQUE
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(1) - CADY (W.G.) - The piezoelectric resonator. - Proc. I.R.E. vol. 10, p. 83-114 (1922).
(2) - ZVEREV (A.I.) - Handbook of filter synthesis. - Wiley (1967).
(3) - JIN (H.), DONG (S.R.), LUO (J.K.), MILNE (W.I.) - Generalised Butterworth-Van Dyke equivalent circuit for thin-film bulk acoustic resonator. - Electronics Letters, vol. 47, n° 7 (2011).
(4) - VAN DYKE (K.S.) - The piezo-electric resonator and its equivalent network. - Proceedings of the Institute of Radio Engineers vol. 16, n° 6, p. 742-764 (1928).
(5) - LARSON (J.D.), BRADLEY (P.D.), WARTENBERG (S.), RUBY (R.C.) - Modified Butterworth-Van Dyke circuit for FBAR resonators and automated measurement system. - Ultrasonics Symposium (2000).
(6) - GODET (S.), GRIBALDO (S.), TOURNIER...
Standard on Piezoelectricity. - 176-ANSI/IEEE - 1987
L. Espenschied – Electrical wave filter US 1795204 (1931).
T. Inoe, Y. Myasaka – Piezoelectric composite thin film resonator US 4456850 (1982).
R.C. Ruby, P.P. Merchant – Method of making tunable thin film acoustic resonators US 5873153 (1993).
L. N. Dworsky, L. C. B. Mang – Frequency selective component and method EP 609555 (1993).
R. F. Milsom – Bulk acoustic wave filter with optimized series and shunt resonator static capacitances US 6509814 (1995).
M. Ylilammi – Method for tuning thin film fbars WO9815984 (1996).
K. Misu, T. Nagatsuka, S. Wadaka – Thin film piezoelectric element WO9937023 (1998).
J. D. Larson III, R.C. Ruby, P. Bradley – Bulk acoustic wave resonator with improved lateral mode suppression US 6215375 (1999).
P. D. Bradley, J. D. Larson III, R. C. Ruby – Duplexer incorporating thin-film bulk acoustic resonators (FBARs) US 6262637 (1999).
J. Kaitila, M. Ylilammi, J. Ellae – Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure WO 200106646 (1999).
M. L. Frank, J. D. Larson III – Integrated filter balun US 6542055 (2000).
H. Heinze, P. Tikka, E. Schmidhammer – Bulk acoustic wave resonator WO 200762647 (2005).
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