Cet article vous permet de préparer une certification CerT.I.
Le test de validation des connaissances pour obtenir cette certification de Techniques de l’Ingénieur est disponible dans le module CerT.I.
RECHERCHEZ parmi plus de 10 000 articles de référence ou pratiques et 4 000 articles d'actualité
PAR DOMAINE D'EXPERTISE
PAR SECTEUR INDUSTRIEL
PAR MOTS-CLES
NAVIGUER DANS LA
CARTOGRAPHIE INTERACTIVE
DÉCOUVREZ toute l'actualité, la veille technologique GRATUITE, les études de cas et les événements de chaque secteur de l'industrie.
Article précédent
ALD en microélectronique - Applications, équipements et productivitéArticle de référence | Réf : E2380 v2
ARTICLE INTERACTIF
Auteur(s) : Sorin CRISTOLOVEANU, Francis BALESTRA
Date de publication : 10 août 2013
Relu et validé le 13 janv. 2021
Cet article fait partie de l’offre
Électronique (231 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète et actualisée d'articles validés par des comités scientifiques
Un service Questions aux experts et des outils pratiques
Des Quiz interactifs pour valider la compréhension et ancrer les connaissances
Présentation
Lire l'article interactif
Bibliographie & annexes
Quiz & Test
Inclus dans l'offre
Dans le cas des transistors MOS/SOI partiellement déplétés, la charge de déplétion contrôlée par une ou deux grilles ne s'étend pas d'une interface à l'autre. Une région neutre subsiste et, par conséquent, les effets de couplage d'interface sont supprimés. Quand la couche de silicium est à la masse (via des contacts indépendants sur le film de silicium ou des connexions directes source/film), les composants SOI partiellement déplétés se comportent de façon similaire à ceux fabriqués sur silicium massif. La plupart des équations I DS (V GS, V DS) et des concepts d'architecture conventionnels peuvent être appliqués. Si les contacts au film (body contacts) ne sont pas disponibles, des effets appelés de substrat flottant se produisent, entraînant plusieurs inconvénients majeurs qui sont expliqués ci-après.
Tout d'abord, l'absence de contact sur le film empêche le contrôle du potentiel dans la couche active de silicium (substrat électriquement flottant) et la récupération des porteurs libres induits par différents mécanismes (par exemple, porteurs créés par ionisation par impact sur les atomes du réseau cristallin). Cela conduit à l'effet kink. Lorsqu'un contact sur le film est disponible, son efficacité dépend de l'épaisseur du film de silicium et de l'architecture des composants qui déterminent les résistances d'accès ainsi que la barrière de potentiel entre la couche de silicium active et le contact.
L'effet kink est l'un des principaux effets de substrat flottant qui sont déclenchés par l'accumulation de charges produites par ionisation par impact dans le film de silicium. Il est identifiable, dans les MOSFET/SOI partiellement déplétés, par un excès de courant de drain I DS (V DS) et de bruit électrique en saturation . L'ionisation par impact dans la région de fort champ électrique...
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
ÉLECTRONIQUE
Cet article vous permet de préparer une certification CerT.I.
Le test de validation des connaissances pour obtenir cette certification de Techniques de l’Ingénieur est disponible dans le module CerT.I.
(1) - CRISTOLOVEANU (S.), LI (S.S.) - Electrical characterization of SOI Materials and Devices. - Kluwer, Norwell (1995).
(2) - CRISTOLOVEANU (S.) - Silicon films on sapphire. - Rep. Prog. Phys., 3, 327 (1987).
(3) - MORIYASU (Y.), MORISHITA (T.), MATSUI (M.), YASUJIMA (A.) - Preparation of high quality silicon on sapphire. - Silicon-On-Insulator Technology and Devices IX, Electrochemical Soc., Pennington, 99–3, 137-142 (1999).
(4) - CELLER (G.K.), CRISTOLOVEANU (S.) - Frontiers of silicon-on-insulator. - Journal of Applied Physics, 93 (9), 4955–4978 (2003).
(5) - CRISTOLOVEANU (S.) - A review of the electrical properties of SIMOX substrates and their impact on device performance - . J. Electrochem. Soc., 138, 3131 (1991).
(6) - BRUEL (M.) - Silicon on insulator material technology - ....
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
ÉLECTRONIQUE
Entraînez vous autant que vous le voulez avec les quiz d'entraînement.
Lorsque vous êtes prêt, vous passez le test de validation. Vous avez deux passages possibles dans un laps de temps de 30 jours.
Entre les deux essais, vous pouvez consulter l’article et réutiliser les quiz d'entraînement pour progresser. L’attestation vous est délivrée pour un score minimum de 70 %.
DÉTAIL DE L'ABONNEMENT :
TOUS LES ARTICLES DE VOTRE RESSOURCE DOCUMENTAIRE
Accès aux :
Articles et leurs mises à jour
Nouveautés
Archives
Articles interactifs
Formats :
HTML illimité
Versions PDF
Site responsive (mobile)
Info parution :
Toutes les nouveautés de vos ressources documentaires par email
DES ARTICLES INTERACTIFS
Articles enrichis de quiz :
Expérience de lecture améliorée
Quiz attractifs, stimulants et variés
Compréhension et ancrage mémoriel assurés
DES SERVICES ET OUTILS PRATIQUES
Archives
Technologies anciennes et versions
antérieures des articles
Votre site est 100% responsive,
compatible PC, mobiles et tablettes.
FORMULES
Formule monoposte | Autres formules | |
---|---|---|
Ressources documentaires | ||
Consultation HTML des articles | Illimitée | Illimitée |
Quiz d'entraînement | Illimités | Illimités |
Téléchargement des versions PDF | 5 / jour | Selon devis |
Accès aux archives | Oui | Oui |
Info parution | Oui | Oui |
Services inclus | ||
Questions aux experts (1) | 4 / an | Jusqu'à 12 par an |
Articles Découverte | 5 / an | Jusqu'à 7 par an |
Dictionnaire technique multilingue | Oui | Oui |
(1) Non disponible pour les lycées, les établissements d’enseignement supérieur et autres organismes de formation. |
||
Formule 12 mois 2 185 € HT |
Autres formules |
4 - CARACTÉRISATION DES STRUCTURES
5 - TRANSISTORS MOS À DÉPLÉTION TOTALE
6 - TRANSISTORS PARTIELLEMENT DÉPLÉTÉS
7 - MINIATURISATION DES COMPOSANTS
8 - ARCHITECTURES INNOVANTES POUR TRANSISTORS SOI ULTIMES
10 - TABLEAU DES SIGLES ET ABRÉVIATIONS
Information
Quiz d'entraînement bientôt disponible
TECHNIQUES DE L'INGENIEUR
L'EXPERTISE TECHNIQUE ET SCIENTIFIQUE
DE RÉFÉRENCE
ÉDITION - FORMATION - CONSEIL :
Avec Techniques de l'Ingénieur, retrouvez tous les articles scientifiques et techniques : base de données, veille technologique, documentation et expertise technique
LOGICIELS
Automatique - Robotique | Biomédical - Pharma | Construction et travaux publics | Électronique - Photonique | Énergies | Environnement - Sécurité | Génie industriel | Ingénierie des transports | Innovation | Matériaux | Mécanique | Mesures - Analyses | Procédés chimie - bio - agro | Sciences fondamentales | Technologies de l'information
ACCUEIL | A PROPOS | EXPERTS SCIENTIFIQUES | NOUS REJOINDRE | PUBLICITÉ | PLAN DU SITE | CGU | CGV | MENTIONS LÉGALES | RGPD | COOKIES | AIDE | FAQ | NOUS CONTACTER
PAIEMENT
SÉCURISÉ
OUVERTURE RAPIDE
DE VOS DROITS
ASSISTANCE TÉLÉPHONIQUE
+33 (0)1 53 35 20 20