Article de référence | Réf : RE138 v1

Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles - Application à la collimation des VCSEL

Auteur(s) : Véronique BARDINAL, Corinne VERGNENÈGRE, Emmanuelle DARAN, Jean-Bernard POURCIEL, Jean-Baptiste DOUCET, Thierry CAMPS

Date de publication : 10 févr. 2010

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RÉSUMÉ

Une méthode originale de dépôt localisé par contact, basée sur l'utilisation de micro-plumes robotisées en silicium, a été développée pour fabriquer des matrices de microlentilles en polymère. L'intérêt de cette technique de fabrication à faible coût a été démontré pour la réalisation de lentilles hémisphériques de bonne qualité optique. Ces résultats ont été exploités dans le domaine de la micro-optique intégrée pour la collimation de diodes laser VCSELs. Cet article présente cette nouvelle méthode : la collimation des diodes VCSEL est abordée en premier lieu. Ensuite, le dimensionnement des microlentilles est détaillé, en particulier leur conception et leur sensibilité. Enfin, la fabrication à proprement parler est expliquée et plus précisément la technique de dépôt par microplumes robotisées.

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ABSTRACT

An original method of contact localized deposition, based on the use of robotized silicon micro-feathers, has been developed in order to manufacture polymer microlens matrixes. The interest of this inexpensive manufacturing technique has been proven for the manufacture of hemispheric lenses with a sound optical quality. These results have been exploited in the domain of integrated micro-optics for the collimation of VCSEL laser diodes. This article presents this new method: the collimation of VCSEL diodes is firstly dealt with. Then, the dimensioning of micro-lenses is detailed and notably their design and sensitivity. Finally, the manufacturing process strictly speaking is explained and more specifically the deposition technique by robotized micro-feathers.

Auteur(s)

INTRODUCTION

La fabrication de microéléments optiques réfractifs ou diffractifs constitue actuellement un défi important, notamment dans le domaine des microsystèmes. La collimation de sources laser telles que les VCSEL (Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers) est particulièrement stratégique pour réaliser des microsystèmes optiques compacts. Dans ce cadre, nous présentons une nouvelle méthode de fabrication de microlentilles en polymère basée sur l'utilisation de microplumes robotisées.

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-re138


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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - SODA (H.), IGA (K.), KITAHARA (C.), SUEMATSU (Y.) -   GaInAsP/InP surface emitting laser injection lasers.  -  Jpn. J. Appl. Phys., 18, p. 2329-2330 (1979).

  • (2) - IGA (K.) -   Vertical-Cavity Surface emitting Laser : its conception and evolution.  -  Japanese Journal of Applied Physics, 47(1), p. 1-10 (2008).

  • (3) - OTTEVAERE (H.) et al -   Comparing glass and plastic refractive microlenses fabricated with different technologies.  -  J. Opt. A : Pure Appl. Opt., 8, p. S407-S429 (2006).

  • (4) - MacFARLANE (D.L.) et al -   Microjet fabrication of microlens arrays.  -  IEEE Phot. Technol. Letters, 6, no 9 (1994).

  • (5) - BELAUBRE (P.) et al -   Cantilever-based microsystem for contact and non-contact deposition of picoliter biological samples.  -  Sensors and Actuators A : Physical, Issues 1-3, 110, p. 130-135 (2004).

  • (6) - LORENZ (H.), DESPONT (M.), FAHRNI (N.),...

1 Outils logiciels

ZEMAX Development Corporation, États-Unis http://www.zemax.com/

ChemDraw, Cambridgesoft, États-Unis http://CambridgeSoft.com

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