Article de référence | Réf : NM6020 v1

Du micro vers le nano-emboutissage à chaud : développements

Auteur(s) : Mathias HECKELE, Bertrand FILLON

Date de publication : 10 avr. 2007

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RÉSUMÉ

La technique d’emboutissage à chaud appliquée aux microcomposants a présenté de grands progrès ces quelques dernières années. Ainsi, le contexte général des nanostructures doit faire l'objet d'une nouvelle présentation. Après l’analyse de l’emboutissage à chaud à l’aide d’une description du procédé et de quelques exemples d’application, le concept de procédé hybride est proposé. Puis, le coeur de l’article se concentre sur un aperçu de la technique d’emboutissage à chaud qui se déplace vers le domaine nanométrique. L’évolution de la nanolithographie vers le nano-emboutissage est alors abordée, puis les équipements nécessaires à cette transformation sont listés.

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ABSTRACT

The hot stamping technique applied to micro components has made significant progress over the past few years; as such, the general context of nanostructures has become the subject of a new presentation. After analyzing the hot stamping technique, by means of a method description and some application examples, the hybrid process concept is detailed. Subsequently, the article focuses on providing insight into the hot stamping technique and its progress toward the nanometer scale. A discussion on the development of nanoimprint lithography follows, and the equipment required for this transformation is listed.

INTRODUCTION

Au cours des quinze dernières années, la technique d'emboutissage à chaud appliquée aux microcomposants en matière plastique a été un facteur clef pour le succès de la microtechnique des systèmes polymères. Cette technologie a fait un progrès considérable. Pour les composants, il ne s'agit plus de premiers échantillons simples qui sont emboutis ou estampés, mais de composants complexes aux structures multicouches ou aux circuits conducteurs intégrés. Ce dossier donne un aperçu de la technique d'emboutissage à chaud qui évolue actuellement vers le domaine nanométrique.

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-nm6020


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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - HECKELE (M.), SCHOMBURG (W.K.) -   Review on Micro Molding of Thermoplastic Polymers.  -  Journal of Micromechanics and Microengineering, 14, R1-R14 (2004).

  • (2) - DITTRICH (H.), HECKELE (M.), MEHNE (C.) -   Double Sided Large Area Hot Embossing for Polymer Microstructures with High Aspect Ration.  -  HARMST05, Gyeongju, Korea, S.226-227 (2005).

  • (3) - WALLRABE (U.), DITTRICH (H.), FRIEDSAM (G.), HANEMANN (Th.), MOHR (J.), MÜLLER (K.), PIOTTER (V.), RUTHER (P.), SCHALLER (T.), ZIßLER (W.) -   Micromolded easy-assembly multi fiber connector : RibCon.  -  Microsystem Technologies, 8, 83-87 (2002).

  • (4) - HANEMANN (Th.), HECKELE (M.), PIOTTER (V.) -   Current Status of Micromolding Technology.  -  Polymer News, vol. 25, no 7, pp. 224-229 (2000).

  • (5) - RABUS (D.), HENZI (P.), MOHR (J.) -   Photonic Integrated Circuits by DUV-Induced Modification of Polymers.  -  IEEE Photonics Technology Letters, 17(3), p. 591-593 (2005).

  • ...

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