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Explosimètres. Détecteurs de gazArticle de référence | Réf : IN14 v1
Auteur(s) : Pierre MONTMEAT,, Frédéric THERY-MERLAND, Lionel HAIRAULT
Date de publication : 10 déc. 2003
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Capteurs de gaz à semi-conducteursCet article fait partie de l’offre
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Le principe a été décrit au paragraphe 1.2.2. Précisons ici que ces dispositifs sont utilisés dans l’industrie microélectronique pour contrôler l’épaisseur des couches métalliques déposées. Dès lors que l’on sait déposer sur une microbalance à quartz une structure qui fixe par adsorption une espèce chimique particulière, on dispose d’un capteur de très faible coût et de très grande sensibilité (seuil de détection inférieur à 10 ng). Le dispositif consiste à alimenter un circuit permettant de mettre en oscillation le quartz et de relever avec un fréquencemètre l’évolution de la fréquence en fonction du temps. Les microbalances utilisées pour nos études sont des quartz recouverts d’un film d’or de 200 nm (figure 6) sur lequel est déposé le matériau sensible.
HAUT DE PAGE3.2 Mise en évidence des qualités d’un capteur chimique
TNT : trinitrotoluène
Sur les nitroaromatiques :
Nitration des composés aromatiques [J 5 720] de P. Métivier
Différentes...
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(1) - YINON (J.) - * - Anal. Chem., 99 A (mars 2003).
(2) - YINON (J.) - Forensic and environmental detection of explosives - . Wiley Chichester England (1999).
(3) - HO (C.K.), ITAMURA (M.T.), KELLEY (M.J.), HUGUES (R.C) - Review of chemicals sensors for in-situ monitoring of volatile contaminants - . Sandia report 2001-0643 (2001).
(4) - JAFFREZIC-RENAULT (N.), PIJOLAT (C.), PAULY (A.), BRUNET (J.), VARENNE (C.), BOUVET (M.), FABRY (P.) - Les matériaux pour capteurs chimiques - . L’Actualité Chimique, 3 (2002).
(5) - YANG (H.C.), coll - Langmuir - , 12, 726-735 (1996).
(6) - PASQUINET (E.), HAIRAULT (L.), BOUVIER (C.), THERY-MERLAND (F.), BESNARD (O.), MÉTHIVIER (C.), SCHERRER (J.), PRADIER (C.M.) - Nitroaromatic gas sensors with self-assembled monolayers - . Proc. of Eurosensors XVI, Prague, 934-937...
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