Le microscope à force atomique métrologique

INTRODUCTION

1 - INTRODUCTION

2 - UN CONTEXTE FAVORABLE AU DÉVELOPPEMENT DE LA NANOMÉTROLOGIE

3 - PRÉAMBULE : LA NANOMÉTROLOGIE DIMENSIONNELLE

• 3.1 - Unités et SI

• 3.2 - Étalon

• 3.3 - Traçabilité

• 3.4 - Le bilan d’incertitude

4 - MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE MÉTROLOGIQUE

• 4.1 - Définition

• 4.2 - État de l’art

5 - AFM MÉTROLOGIQUE DU LNE

• 5.1 - Cahier des charges de l’AFM métrologique du LNE

• 5.2 - Présentation générale de l’instrument

• 5.3 - Tête AFM

• 5.4 - Platine XYZ

• 5.5 - Châssis du mAFM

• 5.6 - Interféromètres

• 5.7 - Déplacements d’exploration de l’échantillon

• 5.8 - Environnement du mAFM

• 5.9 - Architecture du contrôleur de l’instrument

6 - PERFORMANCES

• 6.1 - Stabilité de la chaîne métrologique

• 6.2 - Caractérisation de l’instrument

  

7 - CONCLUSION ET PERSPECTIVES