l’obtention de telles structures : usinage chimique, gravure sèche, gravure électrochimique, épitaxie... moyens de gravure, plus complexes se sont développés. Ce principe d’usiner des formes de très petite... de fluide…) Certaines des techniques évoquées plus loin (gravure chimique) sont identiques... cependant principalement de gravure de matériaux métalliques et de structure non monocristalline. Les gravures...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
, photolithographie, gravure) auxquelles s’ajoutent des techniques spécifiques (gravure de surface et de volume... . Procédés élémentaires (dépôt, lithographie, gravure) Les procédés de base de fabrication des microsystèmes... , qui permet de définir les motifs d’intérêt par insolation d’une résine à travers un masque, et d’une gravure...
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. La fabrication des moules est ensuite passée en revue : écriture et gravure de motifs, traitement de surface... totale de la couche de polymère par une étape de gravure ionique réactive. Le profil final ainsi obtenu... dans la chaîne de micro et nanofabrication. RIE : Reactive Ion Etching. Une fois que la gravure... peut être également fait sur une couche de polymère déposée sur un substrat rigide (sans étape de gravure à la suite...
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