1 Introduction et historique
2 Principes généraux
2.1 Définitions
2.11 Collisions élastiques
2.12 Pertes d'énergie
2.121 Théorie des collisions
2.122 Théorie diélectrique (voir Annexe P 2 621)
2.13 Émission d'électrons secondaires et fond continu
2.2 Ionisation atomique et émission Auger
2.3 Émission Auger : classification
2.4 Caractéristiques des raies Auger
2.41 Énergie
2.42 Largeur et facteurs d'élargissement
2.43 Intensité
2.431 Importance de la rétrodiffusion
2.432 Importance des effets de réseau : canalisationélectronique
2.433 Importance de la topographie
2.5 Différentes origines d'émission Auger
3 Techniques expérimentales
3.1 Analyseurs
3.2 Méthodes de détection
3.21 Méthode de détection par comptage
3.22 Méthodes de modulation : détection synchrone
3.221 Méthode de dérivation électronique
3.222 Méthode de modulation de l'intensité primaire
3.3 Techniques d'images
3.4 Problèmes pratiques
3.41 Préparation d'échantillon
3.42 Alignement et calibration des spectromètres
3.43 Dégâts d'irradiation
4 Applications
4.1 Analyse élémentaire qualitative
4.2 Analyse élémentaire quantitative
4.3 Profils de concentration
4.4 Domaines d'applications
Documentation
Annexe : fondements de la théorie diélectrique
