1. Introduction et historique
2. Principes généraux
2.1 Définitions
2.2 Interaction électron-atome : section efficace d’ionisation
2.3 Émission Auger : classification
2.4 Caractéristiques des raies Auger
2.4.1 Énergie
2.4.2 Largeur des raies et facteurs d’élargissement
2.5 Intensité des raies
3. Techniques expérimentales
3.1 Facteurs de bruit en spectrométrie des électrons
3.1.1 Flicker noise
3.1.2 Bruit thermique
3.1.3 Shot noise
3.2 Analyseurs
3.3 Méthodes de détection de signaux
3.3.1 Comptage d’électrons
3.3.2 Méthodes de modulation. Détection synchrone
3.4 Techniques d’image
3.5 Préparation d’échantillon
3.6 Dégâts d’irradiation
4. Applications
4.1 Analyse élémentaire qualitative
4.2 Analyse élémentaire quantitative
4.3 Tracé des profils de concentration
4.4 Applications particulières en métallurgie
4.5 Analyse des isolants
4.6 Analyse de couches organiques déposées sur des surfaces métalliques
4.7 Applications en microélectronique
4.8 Caractéristiques des spectromètres Auger
Documentation
En spectroscopie des électrons Auger, l’énergie cinétique des électrons analysés est comprise entre quelques électronvolts et quelques centaines d’électron volts. Leur libre parcours moyen est faible et la méthode permet donc l’investigation des premières épaisseurs atomiques, elle est classée comme méthode d’analyse de surface.
La spectroscopie des électrons Auger est complémentaire de la fluorescence X, Comme celle-ci, elle peut donner lieu à une analyse globale ou à une analyse sur des aires microscopiques dans des spectromètres associés aux techniques de microscopie électronique à balayage.
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