Technologie ALD pour l’encapsulation des microbatteries
Encapsulation des diodes organiques électroluminescentes et microbatteries par ALD

3.1 Technologie des microbatteries au lithium

Une microbatterie est définie comme un générateur électrochimique tout solide rechargeable. Son principe de fonctionnement repose sur l’insertion et la désinsertion (ou intercalation-désintercalation) d’un ion de métal alcalin ou d’un proton dans l’électrode positive. Les principaux systèmes utilisent comme espèce ionique Li+ issu d’une électrode en lithium métallique. Tous les composants de la microbatterie (collecteurs de courant, électrodes positive et négative, électrolyte, encapsulation) se présentent sous forme de couches minces obtenues par dépôt PVD (pour Physical Vapor Deposition) ou CVD (Chemical Vapor Deposition) sur différents substrats (rigides ou flexibles). L’épaisseur totale de l’empilement est de l’ordre de quelques dizaines de micromètres (typiquement de 10 à 25 µm). L’électrode négative est constituée du lithium métallique ou d’un alliage métallique lithié. La présence de lithium dans le dispositif impose l’utilisation d’un système d’encapsulation robuste afin d’éviter la destruction prématurée du composant. D’un point de vue applicatif, les microbatteries peuvent être employées comme solutions d’énergie de secours pour plusieurs composants électroniques tels les horloges à temps réel RTC (Real Time Clock), ou comme solutions d’alimentation pour les étiquettes RFID (Radio Frequency Identification) ou pour les capteurs sans fils.

3.2 Encapsualtion des microbatteries au lithium

• Les microbatteries à base de matériaux lithiés sont extrêmement sensibles aux éléments atmosphériques...