1. ALE : historique et définition
La première démonstration du principe de l’ALE a été publiée dans un brevet illustrant la gravure sélective du diamant en 1981 . Ce brevet fondamental introduit l’idée d’utiliser des cycles chimiques séquentiels, avec une activation sélective du silicium par un gaz halogéné (I2, Cl2) suivie d’une élimination limitée de cette surface modifiée par une impulsion de chaleur (typiquement 300 °C), de lumière ou de bombardement d’ions. Il montre pour la première fois que l’alternance répétée de réactions élémentaires permet de contrôler l’épaisseur de matériau retiré et marque la naissance conceptuelle de la gravure à l’échelle...
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ALE : historique et définition
ALE plasma
Sources bibliographiques
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