3. ALE thermique
L’ALE thermique a été proposée pour la première fois en 2015, par le groupe de Steven George (University of Colorado, Boulder, USA) . Tout comme l’ALE plasma, le procédé thermique est un procédé séquentiel basé sur une première étape de modification de la surface du matériau à graver, puis une seconde étape de retrait de la surface modifiée. Néanmoins, dans cette approche, aucun plasma n’est utilisé pour retirer la couche fonctionnalisée. Le procédé...
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ALE thermique
ALE cryogénique
Sources bibliographiques
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