8. Conclusion
Le procédé ALE est le deuxième procédé de la famille des procédés
à l’échelle atomique (ASP, Atomic Scale Processing) à avoir
été utilisé par les industries des semiconducteurs. Cette famille
comporte actuellement trois procédés : ALD, ALE et ASD (Area Selective
Deposition)
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Conclusion
Sigles, notations et symboles
Sources bibliographiques
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