6. Équipements et moyens de caractérisation pour l’ALE
6.1 Équipements
Comme cela a été expliqué dans les parties précédentes, le principe de l’ALE repose sur la répétition de cycles composés a minima d’une étape de modification et d’une étape de retrait, toutes deux autolimitantes dans le cas idéal. L’un des points critiques de la mise en œuvre d’un procédé ALE est de bien séparer ces deux étapes, afin de contrôler avec précision l’EPC.
La séparation peut être spatiale, ce qui revient à effectuer chacune des deux étapes dans une chambre procédé différente. Cette méthode nécessite de placer le substrat sur un porte-substrat rotatif, qui le transfère alternativement d’une enceinte à l’autre
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Équipements et moyens de caractérisation pour l’ALE
Exemples d’applications ALE pour les semiconducteurs
Sources bibliographiques
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