5. Autres ALE
Il existe des procédés ALE alternatifs, utilisant des approches différentes de celles les plus couramment utilisées (plasma directionnel ou thermique).
5.1 ALE avec une étape d’implantation ionique
Dans un brevet publié en 2012, N. Possémé et al. ont proposé la gravure de différents matériaux (diélectriques, métaux) en deux étapes :
la première consiste à modifier le matériau par implantation d’ions...
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Autres ALE
Équipements et moyens de caractérisation pour l’ALE
Sources bibliographiques
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