Analyse par émission ionique secondaire SIMS

   1 Théorie

   1.1 Pulvérisation

   1.2 Émission ionique secondaire

   2 Appareillage

   2.1 Spectromètre de masse

   2.2 Source d'ions primaires

   2.3 Optique ionique primaire

   3 Applications analytiques

   3.1 Type d'analyse

   3.2 Limites de détection

   3.3 Images ioniques

   3.4 Profils de concentration suivant la profondeur

   3.5 Analyse quantitative

   3.6 Analyse de surface

   3.7 Analyse des isolants

   3.8 Dégâts occasionnés par l'analyse ionique

   4 Comparaison avec d'autres méthodes d'analyse de surface

   5 Conclusion

   Documentation