microsystèmes... Cet article traite de la naissance du concept de microsystème à partir de la microélectronique... et connectés. Après quelques définitions, les méthodes de conception d’un microsystème sont données... de ces microsystèmes sont décrites, en insistant sur les spécificités liées au couplage mécanique-électronique...
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Les microsystèmes, nés vers la fin des années 1980 et commercialisés à partir des années 1990... et MST ( MicroSystems Technologies ) en Europe, ou plus simplement microsystèmes en France. Les premiers... commence par des définitions essentielles, autour de la conception d’un microsystème, avec un résumé... des technologies de fabrication disponibles. Il présente ensuite les principales familles de microsystèmes...
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de matériaux énergétiques conçus pour les applications microsystèmes. Les nanotechnologies... . Au début des années 1990, a émergé l'idée d'intégrer, sur les microsystèmes silicium, des matériaux... pour les applications microsystèmes : il faut assurer à la fois les performances énergétiques et la compatibilité... de recherche au LAAS CNRS, au sein du groupe MIS (microsystèmes et intégration des systèmes). Les premiers...
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