37,7 millions d’euros pour l’industrie des semi-conducteurs

C’est parti. IMPROVE (Implementing Manufacturing Science Solutions to Increase Equipment Productivity and Fab Performance), le nouveau projet de recherche européen pour l’amélioration de l’efficacité dans l’industrie des semi-conducteurs est sur les rails. Et ceci pendant au moins 36 mois, de fin 2009 à fin 2011.  Doté pour l’ensemble de la période de 37,7 millions d’euros, financés à hauteur de 50 % par les partenaires industriels et scientifiques et pour l’autre moitié par la Commission européenne ainsi que les Etats membres via l’ENIAC (European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) dans le cadre du programme  » SP4 Nanoelectronics for Energy & Environment « , son objectif est clair : aider l’industrie européenne des semi-conducteurs à rester compétitive, en améliorant la productivité des process de fabrication, mais aussi en baissant les coûts et les temps de traitement.  En effet, en raison de l’intégration continue de nouvelles fonctionnalités aux puces électroniques, leur process de fabrication devient sans cesse plus complexe. Ce qui induit des temps de production plus long en raison de l’apparition de nouvelles étapes dans le process de fabrication et du temps nécessaire pour conduire de nouveaux développements. Aujourd’hui, selon Infineon, la fabrication d’un circuit intégré avancé inclut en moyenne 550 étapes de procédés, ce qui peut s’étaler sur 12 à 16 semaines. Le lot typique pour un produit donné est de 50 à 100 tranches, avant de changer les réglages des machines pour le lot du produit suivant.  Autant de paramètres qui seront le terrain de recherche d’IMPROVE dont l’objectif est de fournir à l’industrie des méthodes et des outils permettant un meilleur contrôle des procédés et une réduction des temps de production. Dans cet optique, le projet s’articule autour de trois axes de développement :

• les techniques de mesure virtuelle (Virtual Metrology) pour permettre un contrôle des process de fabrication et gagner du temps en supprimant les techniques de mesure standard ;
• la maintenance anticipée (Predictive Maintenance) pour améliorer la fiabilité des équipements, et optimiser la fréquence des contrôles de maintenance ;
• et la planification du contrôle adaptatif (Adaptive Control Planning).