Microscopie électronique à balayage

   1 Interactions électron-solide

   1.1 Diffusion élastique

   1.2 Diffusion inélastique

   1.3 Émission d'électrons secondaires

   1.4 Relaxation des niveaux ionisés: émission de rayons X et d'électronsAuger

   1.5 Électrons rétrodiffusés

   1.6 Diffraction et canalisation électronique

   1.7 Spectroscopies de seuils et EXAFS

   2 Appareillage

   2.1 Enceinte à vide

   2.2 Colonne optique

   2.21 Canon à électrons

   2.22 Système électro-optique

   2.23 Principales aberrations. Résolution

   2.3 Détecteurs

   2.31 Détecteurs amplificateurs de courants

   2.32 Détecteurs de rayons X

   2.33 Détecteur de cathodoluminescence

   2.34 Détecteurs d'électrons

   2.35 Dispositifs de diffraction

   2.4 Dispositif porte-échantillon

   3 Mesures effectuées dans un MEB

   3.1 Préparation des échantillons

   3.11 Montage d'échantillon

   3.12 Dégâts d'irradiation

   3.13 Contrastes

   3.2 Études basées sur l'émission électronique secondaire

   3.3 Études cristallographiques: lignes de Kikuchi

   3.4 Composition élémentaire et analyse chimique

   3.5 Mesures en cathodoluminescence

   3.6 Propriétés électroniques

   4 Conclusion

   Index bibliographique