RECHERCHEZ parmi plus de 10 000 articles de référence ou pratiques et 4 000 articles d'actualité
PAR DOMAINE D'EXPERTISE
PAR SECTEUR INDUSTRIEL
PAR MOTS-CLES
NAVIGUER DANS LA
CARTOGRAPHIE INTERACTIVE
DÉCOUVREZ toute l'actualité, la veille technologique GRATUITE, les études de cas et les événements de chaque secteur de l'industrie.
Article précédent
Caractérisation des fibres optiques et des réseaux par réflectométrieArticle de référence | Réf : NM556 v1
Auteur(s) : Renaud BACHELOT
Date de publication : 10 oct. 2007
Article suivant
Nanophotonique et micro-nanotechnologiesCet article fait partie de l’offre
Optique Photonique (218 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète et actualisée d'articles validés par des comités scientifiques
Un service Questions aux experts et des outils pratiques
Présentation
Lire l'article
Bibliographie & annexes
Inclus dans l'offre
La lithographie optique, aussi appelée photolithographie, est indiscutablement la méthode principale de fabrication de masse des circuits de la microélectronique. Elle consiste à graver sur un polymère photosensible des motifs à reproduire (circuits). Ce motif polymère est ensuite transféré sur le wafer de silicium sur lequel a été préalablement déposée la fine couche de polymère. Depuis les années 1970, cette technique a connu un certain nombre d'évolutions, décrites en détail dans la référence . Ces évolutions ont concerné :
la longueur d'onde de la lumière ;
les performances de la résine photosensible (matériaux, techniques de développement...) ;
la géométrie d'éclairage.
Les motivations sont nombreuses car la lithographie optique a permis de satisfaire trois conditions importantes : haute résolution, grande surface et faible coût. Concernant la géométrie d'éclairage, la figure 1 illustre la configuration la plus utilisée.
Elle consiste à projeter via un objectif à forte ouverture numérique, le motif d'un masque sur la surface de la résine photosensible.
Concernant la résolution, celle-ci est fondamentalement limitée, par le phénomène diffraction à une expression, connue sous l'appellation « limite d'Abbe », du nom du physicien Allemand qui a beaucoup travaillé sur la résolution de la microscopie optique et qui est à l'origine du développement des objectifs de microscopes modernes. Cette limite est λ/2n où λ est la longueur d'onde de la lumière et n est l'indice de réfraction du milieu de propagation de la lumière.
Trois voies ont été explorées pour gérer cette limite.
i) La principale est la diminution de la longueur d'onde (cf. (Nano)structuration douce de surfaces...
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
OPTIQUE PHOTONIQUE
(1) - Bulletin MRS (Materials Research Society) - Fabrication of sub-45 nm structures for the next generation of devices. - Vol. 30, n˚ 12, déc. 2005.
(2) - RONSE (K.) - Optical lithography – a historical perspective. - C. R. Physique, doi : 10.1016/j.chry.2006.10.007 (2006).
(3) - SWITKES (M.), ROTHSCHILD (M.), KUNZ (R.R.), BAEK (S.-Y.), COLES (D.), YEUNG (M.) - Immersion lithography : Beyond the 65 nm node with optics. - Microlithography World, p. 4, mai 2003.
(4) - COURJON (D.) - Near-field microscopy and near-field optics. - Imperial College Press, Londre (2003).
(5) - NOVOTNY (L.), HECHT (B.) - Principles of Nanooptics. - Cambridge Press (2007).
(6) - LOURTIOZ (J.M.), TCHELNOKOV (A.) - Nanophotonique et Micro-Nanotechnologies. - Techniques de l'ingénieur. Nanotechnologies...
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
OPTIQUE PHOTONIQUE
DÉTAIL DE L'ABONNEMENT :
TOUS LES ARTICLES DE VOTRE RESSOURCE DOCUMENTAIRE
Accès aux :
Articles et leurs mises à jour
Nouveautés
Archives
Formats :
HTML illimité
Versions PDF
Site responsive (mobile)
Info parution :
Toutes les nouveautés de vos ressources documentaires par email
DES SERVICES ET OUTILS PRATIQUES
Archives
Technologies anciennes et versions
antérieures des articles
Votre site est 100% responsive,
compatible PC, mobiles et tablettes.
FORMULES
Formule monoposte | Autres formules | |
---|---|---|
Ressources documentaires | ||
Consultation HTML des articles | Illimitée | Illimitée |
Téléchargement des versions PDF | 5 / jour | Selon devis |
Accès aux archives | Oui | Oui |
Info parution | Oui | Oui |
Services inclus | ||
Questions aux experts (1) | 4 / an | Jusqu'à 12 par an |
Articles Découverte | 5 / an | Jusqu'à 7 par an |
Dictionnaire technique multilingue | Oui | Oui |
(1) Non disponible pour les lycées, les établissements d’enseignement supérieur et autres organismes de formation. |
||
Formule 12 mois 1 560 € HT |
Autres formules |
2 - LITHOGRAPHIE OPTIQUE : ENJEUX ET CHALLENGES
3 - EXPLOITATION DE L'OPTIQUE DE CHAMP PROCHE
4 - NANOPHOTOLITHOGRAPHIE EN CHAMP PROCHE
Information
Quiz d'entraînement bientôt disponible
TECHNIQUES DE L'INGENIEUR
L'EXPERTISE TECHNIQUE ET SCIENTIFIQUE
DE RÉFÉRENCE
ÉDITION - FORMATION - CONSEIL :
Avec Techniques de l'Ingénieur, retrouvez tous les articles scientifiques et techniques : base de données, veille technologique, documentation et expertise technique
LOGICIELS
Automatique - Robotique | Biomédical - Pharma | Construction et travaux publics | Électronique - Photonique | Énergies | Environnement - Sécurité | Génie industriel | Ingénierie des transports | Innovation | Matériaux | Mécanique | Mesures - Analyses | Procédés chimie - bio - agro | Sciences fondamentales | Technologies de l'information
ACCUEIL | A PROPOS | EXPERTS SCIENTIFIQUES | NOUS REJOINDRE | PUBLICITÉ | PLAN DU SITE | CGU | CGV | MENTIONS LÉGALES | RGPD | AIDE | FAQ | NOUS CONTACTER
PAIEMENT
SÉCURISÉ
OUVERTURE RAPIDE
DE VOS DROITS
ASSISTANCE TÉLÉPHONIQUE
+33 (0)1 53 35 20 20