1 Principe de fonctionnement
1.1 Nature et énergie des projectiles
1.2 Effets d'origines atomique et nucléaire exploités
2 Appareillage
2.1 Accélérateur et ligne de faisceau
2.2 Système de focalisation
2.3 Dispositif de balayage
2.4 Enceinte d'analyse
2.5 Électronique d'exploitation
3 Possibilités et performances
3.1 Spécificité pour les isotopes des éléments légers
3.2 Seuils de détection
3.3 Résolution (latérale et en profondeur)
3.4 Profils de concentration
3.5 Images de répartition
3.6 Autres possibilités
3.7 Étalonnage et précision
4 Exemples d'applications
4.1 Archéologie
4.2 Biologie
4.3 Géologie
4.4 Métallurgie
4.5 Microélectronique
4.6 Autres applications
5 Comparaison avec d'autres microanalyseurs
Documentation
