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Dispositifs HEMT à base de GaN - Technologie et caractérisationArticle de référence | Réf : IN208 v1
Auteur(s) : Stéphane CROS, Tony MAINDRON
Date de publication : 10 févr. 2014
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Le principe de mesure des propriétés barrières consiste à fixer la pression partielle du gaz cible (eau ou oxygène par exemple) sur une face amont de l'échantillon (film barrière) et à mesurer le flux, ou la quantité cumulée, de gaz cible transmis du côté aval. Les principes généraux de la mesure de perméation sont disponibles dans la référence [AM 3 160] des Techniques de l'Ingénieur. Selon la méthode considérée, le signal de mesure consiste :
soit en la mesure du flux de transmission du gaz J au travers du film barrière aux gaz en fonction du temps, figure 32a. J augmente progressivement (régime transitoire) jusqu'à un flux stabilisé J∞ (régime permanent). J∞ correspond au WVTR dans le cas de la mesure eau et à l'OTR dans le cas de la mesure oxygène. Du point de vue de l'instrument de mesure cela implique que le flux de perméant est en permanence évacué du côté aval ;
soit en la mesure de la quantité cumulée de gaz cible ayant diffusée, figure 32b. Il s'agit de l'intégrale temporelle de la mesure de flux. La pente de la droite dans le régime permanent est égale au flux de transmission J∞. La régression linéaire à flux nul du régime permanent permet d'obtenir le temps caractéristique du régime transitoire (ou lag time, TL). Dans ce dernier cas, l'enceinte de détection aval est fermée. Une mesure cumulative doit...
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(1) - BERANOSE (A.) - * - Br. J. Appl. Phys., 6, p. S54 (1995).
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