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Dispositifs HEMT à base de GaN - Technologie et caractérisationArticle de référence | Réf : IN208 v1
Auteur(s) : Stéphane CROS, Tony MAINDRON
Date de publication : 10 févr. 2014
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2.1 Structures multicouches hybrides organique/inorganique
2.1.1 Principe d'amélioration des propriétés barrières par la voie multicouche hybride
2.1.1.1 Amélioration des propriétés barrières par dépôt de couches inorganiques minces
Les principes de perméation d'un gaz (mécanisme de solubilité/diffusion) au travers un matériau homogène (notamment une feuille polymère) sont décrits dans l'article [AM 3 160] des Techniques de l'Ingénieur. Du fait d'un volume libre important dans les polymères, aucun film plastique ou revêtement organique ne permet d'obtenir des propriétés barrières HB ou UHB (figure 5). Il est ainsi nécessaire d'utiliser des couches inorganiques minces (épaisseur de l'ordre de quelques centaines de nanomètres) sur un film polymère qui a alors un rôle de substrat. Les couches barrières inorganiques sont généralement constituées d'oxydes, de nitrures ou d'oxynitrures métalliques et sont déposées par des technologies standard de dépôt de couches minces sous vide telles que le dépôt chimique en phase vapeur ou CVD (PECVD, ALD) ou le dépôt physique en phase vapeur ou PVD (évaporation, pulvérisation).
Dans la configuration bicouche substrat plastique/dépôt inorganique, selon les lois standard de perméation, la perméabilité du couple devrait diminuer lorsque l'épaisseur du dépôt barrière croît selon la relation :
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(1) - BERANOSE (A.) - * - Br. J. Appl. Phys., 6, p. S54 (1995).
(2) - POPE (M.), KALLMANN (H.P.), MAGNANTE (P.) - * - J. Chem. Phys., 38, p. 2042 (1963).
(3) - ROBERTS (G.G.), McGINNITY (M.), BARLOW (W.A.), VINCETT (P.S.) - * - Solid State Commun., 32, p. 683 (1979).
(4) - CHIANG (C.K.), FINCHER (C.R.), PARK (Y.W.), HEEGER (A.J.), SHIRAKAWA (H.), LOUIS (E.J.), GAU (S.C.), MacDIARMID (A.G.) - * - Phys. Rev. Lett., 39(17), p. 1098 (1977).
(5) - BORSENBERGER (P.M.), WEISS (D.S.) - Organic photoreceptors for xerography. - DEKKER (M.), New York (1998).
(6) - TANG (C.W.), VAN SLYKE (S.A.) - * - Appl. Phys. Lett., 51, p. 913 (1987).
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