Article

1 - ALD ET CAPTEURS

2 - ALD ET BIOCAPTEURS

3 - ALD ET MEMBRANES

4 - CONCLUSION

5 - GLOSSAIRE

Article de référence | Réf : RE265 v1

ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes

Auteur(s) : Catherine MARICHY, Mikhael BECHELANY

Date de publication : 10 nov. 2016

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RÉSUMÉ

Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs sélectivités dépendent de la structuration, de la morphologie et de la nature des matériaux utilisés. La technique de dépôt par couche atomique ou ALD apparaît comme une technique de choix de par sa simplicité et l’homogénéité des dépôts, ainsi que du contrôle de l’épaisseur au niveau atomique. Cet article présente l’utilisation de l’ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les réalisations possibles en termes de détection et de séparation. L’avantage de cette technique par rapport à des approches plus conventionnelles est mis en évidence par quelques exemples choisis dans la littérature.

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Auteur(s)

  • Catherine MARICHY : Chargée de recherche au CNRS - Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces, UMR 5615, université Claude Bernard Lyon 1 et CNRS n° 5615, Villeurbanne, France.

  • Mikhael BECHELANY : Chargé de recherche au CNRS - Institut européen des membranes, UMR5635 ENSCM-UM-CNRS-UM2-ENSCM, Montpellier, France.

INTRODUCTION

De nombreuses applications industrielles, médicales et domestiques nécessitent la détection d’espèces chimiques ou biologiques. Des (bio)capteurs avec des performances élevées, telles que des limites de détection de plus en plus faibles et des sélectivités de plus en plus grandes, sont recherchés du fait notamment de demandes environnementales ou de sécurité de plus en plus strictes. Les dispositifs portables et/ou embarqués sont très recherchés car ils permettent le suivi et le contrôle en temps réel de procédés et de procédures médicales. L’utilisation de membranes pour la séparation et la filtration est très importante dans le domaine de l’environnement et de la santé.

Les propriétés de surface, la morphologie et la nature des matériaux actifs des capteurs et des membranes jouent un rôle primordial dans la qualité de la détection ou de la séparation. Une voie d’élaboration permettant un contrôle précis de la forme, de la structuration et de la composition est alors requise. La technique de dépôt par couche atomique (atomic layer deposition ou ALD) est particulièrement attractive. Cet article présente -différentes façons d’utiliser l’ALD pour élaborer des capteurs et des membranes.

Points clés

Domaine : Technique d’élaboration de films minces/revêtement

Degré de diffusion de la technologie : Croissance

Technologies impliquées : Atomic layer deposition (ALD)

Domaines d’application : Énergie, environnement, biomédical

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-re265


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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - MARICHY (C.), BECHELANY (M.), PINNA (N.) -   Advanced Materials.  -  24, (8), 1017-32 (2012).

  • (2) - MARICHY (C.), PINNA (N.) -   Advanced Materials & Interfaces.  -  -admi20160035 (201600335).

  • (3) - ROSENTAL (A.), TARRE (A.), GERST (A.), SUNDQVIST (J.), HÅRSTA (A.), AIDLA (A.), AARIK (J.), SAMMELSELG (V.), UUSTARE (T.) -   Sensors and Actuators B : Chemical.  -  93, (1-3), 552-555 (2003).

  • (4) - CHOI (G.), SATYANARAYANA (L.), PARK (J.) -   Applied Surface Science.  -  252, (22), 7878-7883 (2006).

  • (5) - NISKANEN (A. J.), VARPULA (A.), UTRIAINEN (M.), NATARAJAN (G.), CAMERON (D. C.), NOVIKOV (S.), AIRAKSINEN (V.-M.), SINKKONEN (J.), FRANSSILA (S.) -   Sensors and Actuators B : Chemical.  -  148, (1), 227-232 (2010).

  • (6) - DU (X.), GEORGE (S. M.) -   Sensors and...

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