Conclusion
ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes

À travers des exemples choisis, le potentiel de la technique ALD pour des applications comme capteurs a été mis en évidence. Si des films plans ultraminces ont été étudiés pour la détection de gaz, l’élaboration de nanostructures et la formation d’hétérojonctions par ALD démontrent tout l’apport de cette technique de dépôt par rapport à des méthodes plus conventionnelles. En effet, elle permet un contrôle très précis non seulement de l’épaisseur mais aussi de la composition, de la morphologie et de la structuration du revêtement. Ceci permet alors l’étude fondamentale des phénomènes et mécanismes mis en jeu dans le processus de détection.

Le contrôle précis de l’épaisseur combiné à l’uniformité des couches ALD permet l’accès à de nouvelles approches pour la conception de nanopores et de membranes. Contrôler le diamètre des pores, la géométrie et les interactions chimiques avec les espèces de surface permet de les optimiser pour différentes applications. Les exemples de l’utilisation de l’ALD pour contrôler un nanopore sont encore rares, mais présentent plusieurs potentialités. Les études ont montré que le contrôle à la fois de la géométrie et de la taille des nanopores sera essentiel pour faire avancer les applications et les études fondamentales. À l’heure actuelle, les nanopores façonnés par ALD ont permis des résultats intéressants dans le domaine de nanopore hybride biologique/artificiel. Ce dernier paraît la stratégie la plus prometteuse car permettant de combiner à la fois l’avantage de la biologie (sélectivité) et du matériau (robustesse), mais nécessite le contrôle du nanopore à l’état solide.

D’autres applications reposant sur la nanostructuration des interfaces par ALD telles que les biopiles , les biocapteurs optiques et électrochimiques sont très intéressantes. Bien que les interfaces nanostructurées conçues par ALD pour les...