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Article

1 - AVANTAGES DES ULTRASONS POUR L’IMAGERIE

2 - PRINCIPE DU MICROSCOPE ACOUSTIQUE À BALAYAGE

3 - IMAGERIE ET SIGNATURE ACOUSTIQUE

  • 3.1 - Modes de volume et modes de surface
  • 3.2 - Microéchographie : une imagerie qualitative
  • 3.3 - Micro-interférométrie : une caractérisation quantitative locale des matériaux

4 - SYSTÈMES DE FOCALISATION

  • 4.1 - Lentille de focalisation
  • 4.2 - Calottes et membranes sphériques : microscopie acoustique « basse fréquence »
  • 4.3 - Focalisation linéaire
  • 4.4 - Focalisation électronique : vers la microscopie tridimensionnelle
  • 4.5 - Microscopie acoustique en champ proche

5 - APPLICATIONS

  • 5.1 - Microélectronique
  • 5.2 - Métallurgie
  • 5.3 - Polymères et composites
  • 5.4 - Matériaux poreux
  • 5.5 - Biomédical
  • 5.6 - Agroalimentaire

6 - PERSPECTIVES D’AVENIR

Article de référence | Réf : R1402 v2

Principe du microscope acoustique à balayage
Microscopie acoustique

Auteur(s) : Thomas MONNIER

Date de publication : 10 déc. 2014

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NOTE DE L'ÉDITEUR

Cet article est la mise à jour de l'article "Microscopie acoustique" rédigé en 1998 par Jacques ATTAL.

01/12/2014

RÉSUMÉ

La microscopie acoustique regroupe plusieurs modalités d’imagerie acoustique qui poursuivent le même but : offrir une résolution comparable à la microscopie optique tout en permettant l’inspection au voisinage de la surface ou jusqu’à une profondeur, fonction de l’atténuation des ultrasons. Les principes physiques et plusieurs systèmes de focalisation sont exposés. Les applications illustrées appartiennent aux domaines du contrôle non destructif et de la caractérisation ultrasonore locale des matériaux.

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ABSTRACT

Acoustic microscopy includes several acoustic-imaging modalities, which pursue the same goal: to provide comparable resolution to optical microscopy while allowing inspection in the vicinity of the surface or to a depth depending from the attenuation of ultrasound. Physical principles and several focusing systems are outlined. Illustrated practical applications belong to non-destructive testing and local ultrasonic characterization of materials.

Auteur(s)

  • Thomas MONNIER : Maître de conférences à l’université de Lyon - Laboratoire acoustique et vibrations de l’Institut national des sciences appliquées de Lyon (INSA de Lyon)

INTRODUCTION

Aboutissement d’une synthèse de plusieurs disciplines de la physique et de l’ingénierie, le microscope acoustique a maintenant plus d’une trentaine d’années d’existence. Dans le domaine des essais non destructifs, il a prouvé son efficacité pour l’inspection interne de matériaux opaques, intégrés dans des structures de plus en plus complexes. Beaucoup d’instruments de ce type opèrent en routine sur sites industriels particulièrement pour le contrôle qualité dans la production de circuits électroniques.

En parallèle, on continue dans les laboratoires universitaires à améliorer les performances et à élargir le champ des applications. Les recherches concernant la caractérisation par microscopie acoustique n’ont pas cessé de progresser, motivées en premier lieu par la science des matériaux et par l’imagerie quantitative en médecine.

Il existe énormément de produits ou de procédés industriels qui utilisent une ou plusieurs couches minces déposées sur un substrat. La caractérisation de ces revêtements : leur épaisseur, leur adhésion, leurs propriétés viscoélastiques et leur évolution, est un challenge important.

Enfin, la progression des techniques de champ proche n’a pas épargné l’acoustique qui, paradoxalement, en était une au départ (acoustique aérienne, acoustique musicale). En cela, l’essor des microtechniques a fortement aidé à développer de nouveaux concepts d’instruments, en permettant une approche acoustique différente mais complémentaire des techniques de microscopie classique.

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KEYWORDS

materials   |   resolution   |   microscopy   |   attenuation of ultrasound   |   non-destructive testing   |   Local ultrasonic characterization

VERSIONS

Il existe d'autres versions de cet article :

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v2-r1402


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2. Principe du microscope acoustique à balayage

Alors que nous disposons de détecteurs pour enregistrer un flux lumineux provenant d’un objet, il n’existe pas de récepteurs acoustiques analogues à l’œil ou à la plaque photographique pour fixer l’image acoustique sur un support.

On a donc cherché différents artifices de transcription, ce qui a conduit au système actuel qui s’inspire en partie du microscope électronique à balayage.

  • Dans son principe de base, le microscope acoustique comprend un générateur d’ultrasons, constitué par un transducteur piézoélectrique, qui convertit un signal électrique incident en signal acoustique. Les fréquences f en acoustique correspondent à des longueurs d’onde λ de l’ordre du micromètre, compte tenu de la vitesse v des ultrasons, qui est de l’ordre de plusieurs milliers de mètres par seconde (λ = v / f). Il s’ensuit que la résolution spatiale maximale atteinte, du fait de la limitation par la diffraction, est de l’ordre d’une fraction de longueur d’onde. Cette résolution s’obtient en interposant entre la source d’ultrasons et l’objet un moyen de focalisation (lentille acoustique dans la grande majorité des dispositifs disponibles).

  • En optique, une lentille est constituée d’un dioptre sphérique séparant deux milieux d’indices de réfraction (c’est-à-dire de vitesses de propagation d’ondes électromagnétiques) différents. En acoustique, un tel dioptre est réalisé en utilisant deux matériaux dont, cette fois, le rapport des vitesses acoustiques avoisine la dizaine. Ainsi, le barreau de saphir constitue le premier milieu (le plus rapide) et comporte, sur la face plane opposée à celle du transducteur, un petit dioptre sphérique creusé et poli d’un diamètre de l’ordre d’une centaine de µm. Les ultrasons ne se propageant pas dans l’air à ces fréquences (~ 1 GHz), le deuxième milieu sera liquide, afin d’assurer le couplage acoustique avec l’objet.

    Le rôle de ce liquide de transmission est capital : le choix de ses caractéristiques (vitesse et atténuation) est lié à la nature (céramique, métallique, polymère, biologique) des phases constituant l’échantillon, et de ce choix dépendent la résolution et la profondeur de pénétration. Tout naturellement, les premières investigations ont commencé avec l’eau, qui présente un grand...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - VIKTOROV (I.A.) -   Rayleigh and Lamb Waves  -  Plenum, New York, pp. 1-6 (1967).

  • (2) - ROYER (D.), CLORENNEC (D.) -   An improved approximation for the Rayleigh wave equation  -  Ultrasonics, 46, pp. 23-24 (2007).

  • (3) - WEGLEIN (R.D.) -   A model for predicting acoustic material signatures  -  Appl. Phys. Lett., 34, pp. 179-181 (1979).

  • (4) - GUO (Z.Q.) et al -   Modeling and acoustic microscopy measurements for evaluation of the adhesion between a film and a substrate  -  Thin Solid Films, 394, pp. 189-201 (2001).

  • (5) - NGWA (W.) et al -   Characterization of polymer thin films by phase-sensitive acoustic microscopy and atomic force microscopy : a comparative review  -  Journal of microscopy, 218, pp. 208-218 (2005).

  • (6) - DA FONSECA (R.J.M), SAUREL (J.M), DESPAUX (G.) -   Elastic...

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1.1 Organismes – Associations – Fédérations

Université de Montpellier II. Laboratoire d’Analyse des Interfaces et de nanophysique.

Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) – Université Lille I – Sciences et technologies – Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis

Laboratoire d’Imagerie Paramétrique. Université Pierre et Marie Curie – Paris 6

Centre national de la recherche scientifique. Département des Sciences pour l’Ingénieur (SPI)

Ministère de la recherche scientifique et technique (DSPT 4, Sciences pour l’Ingénieur)

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1.2 Constructeurs – Fournisseurs – Distributions

Acoustique Métrologie

Biosonic :

http://biosonic.divatech.fr

Hitachi :

http://www.hitachi.fr

Honda Electronics :

http://www.honda-el.co.jp/en

Kämer Scientific Instrument GmbH (représentant : Systems and Technology International) :

http://www.stifrance.com

Kibero GmbH (Saarbrücken) :

http://kibero.com

Krautkramer :

http://www.krautkramer.com.au...

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