5. Glossaire
BEOL ; BEOL ( Back-End Of Line )
Étapes industrielles de fabrication des interconnections.
Croissance en champignon ; Mushrooming
Croissance localisée isotrope conduisant à la formation d’une structure en forme de chapeau de champignon.
Encapsulation ; capping
Couche mince servant à protéger les propriétés du matériau sous jacent.
SAV/FSAV ; Self-Aligned Vias / Fully Self-Aligned Vias
Remplissage auto-aligné des trous...
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Sources bibliographiques
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