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Microscopie acoustiqueArticle de référence | Réf : P865 v3
Auteur(s) : Jacky RUSTE
Date de publication : 10 mars 2013
Relu et validé le 01 juin 2017
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Un microscope électronique à balayage est constitué des éléments suivants (figure 1) :
une colonne électronique, comprenant un canon à électrons, plusieurs lentilles électromagnétiques (« condenseurs »), un certain nombre de bobines électriques d'alignement et de réglages, et un dispositif de balayage électronique du faisceau. Cette colonne est maintenue sous vide à un niveau minimal de 10–3 Pa. Dans les microscopes courants, le vide nécessaire est obtenu par une pompe primaire à palettes couplée avec un système de pompage secondaire constitué soit d'une pompe à diffusion d'huile (ou parfois de deux en cascade), soit d'une pompe turbomoléculaire. Certains dispositifs plus performants exigent, au niveau du canon à électrons, un pompage ionique et/ou technique d'ultravide ;
une chambre « objet », où est introduit l'échantillon (soit directement soit par l'intermédiaire d'un sas) ;
un ensemble de détecteurs qui permet de recueillir toutes les émissions électroniques et électromagnétiques issues de la cible ;
un système de visualisation des images et d'exploitation des informations en provenance de l'échantillon ;
un ensemble de pilotage et de contrôle informatique, généralement de type compatible PC, l'imagerie étant numérique.
Reprenons en détails les différents éléments de l'instrument.
Générateur et accélérateur d'électrons, il est habituellement composé :
d'une cathode émissive (filament), portée à un potentiel négatif ;
d'une électrode (le Wehnelt), légèrement plus négative que la cathode ;
d'une anode au potentiel zéro ;
un système auxiliaire...
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(1) - HEINRICH (K. et J.) - X-rays optics and microanalysis. - Édts CASTAING (R.), DESCHAMPS (R.) et PHILIBERT (J.), Hermann Paris, p. 159 (1966).
(2) - ARNAL (F.), VERDIER (P.), VINCINSINI (P.D.) - * - CR acad. Sci., Paris, 268, p. 1526 (1969).
(3) - MAURICE (F.), RUSTE (J.) - Microanalyse. Principes et instrumentations par sonde électronique. - [P 885] (2009).
(4) - CASTAING (R.) - Advances in electronics and electron physics. - 13 Edts MASSON (C.), NY, Academic Press, p. 317 (1960).
(5) - EVERHART (I.F.), THORNLEY (R.F.M.) - Wide band detector for micro-ampere low energy electrons currents. - J. Sci. Inst., st, 37, p. 246-248 (1960).
(6) - SELME (P.) - La microscopie électronique. - PUF, Que sais-je no 1045 (1963).
...
GNMEBA : deux réunions annuelles, une réunion thématique au printemps et une réunion pédagogique en décembre à Paris et tous les 5-6 ans une école d'été (la dernière a eu lieu en 2012 à Lille) http://www.gn.meba.org
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