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Les capteurs MEMS - Principes de fonctionnementArticle de référence | Réf : R431 v1
Auteur(s) : Gilles Amendola, Patrick Poulichet, Laure Sevely, Laurie Valbin
Date de publication : 10 sept. 2011
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Réseaux de capteurs à fibres optiques - Mesures et multiplexageCet article fait partie de l’offre
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Dans ce chapitre, nous avons décrit les méthodes utilisées par les capteurs d’accélération, de rotation, de pression, acoustiques, chimiques et magnétiques. Nous avons également détaillé quelques exemples de réalisations industrielles (commercialisées avant 2010) en donnant les principales caractéristiques des capteurs. Dans le but de brosser le tableau des prochaines années, des travaux de recherche, ainsi que des perspectives pour les microcapteurs ont été présentés.
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(1) - LIU (K.), ZHANG (W.), CHEN (W.), LI (K.), DAI (F.), CUI (F.), WU (X.), MA (G.), XIAO (Q.) - The development of micro-gyroscope technology - Journal of Micromechanics and Microengineering – Volume 19(1), Pages 1-29 (2009).
(2) - EATONY (W.P.), SMITH (J.H.) - Micromachined pressure sensors : review and recent developments - Smart Materials and Structures. Volume 6(5), Pages 530-539 (1997).
(3) - TRAUTWEILER (S.), MOSIER (N.), ZDANKIEWICZ (E.) - New Silicon-Based Metal-Oxide Chemical Sensors - MicroChemical Systems, http://archives.sensorsmag.com/articles/0999/109/index.htm.
(4) - TSAI (P.P.), CHEN (I.-C.), HO (C.-J.) - Ultralow power carbon monoxide microsensor by micromachining techniques - Sensors and Actuators B 76 380-387 (2001).
(5) - AIKEN (T.) - * - . – MOS Air Quality Sensors Make Vehicle Cabins Safer, http://archives.sensorsmag.com/articles/0204/40/main.shtml.
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